アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。
バッチ式高真空蒸着装置 Model：ei-5
バッチ式高真空蒸着装置 "Model：ei" は、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことがで……
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巻取式真空蒸着装置 Model：EW
高分子フィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。コンデンサ、包装材料他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。
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研究開発用小型蒸着装置 Model：VPC-061 / 061A
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です……
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研究開発用小型蒸着装置 Model：VPC-260F
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です……
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研究開発用小型蒸着装置 Model：VPC-1100
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵……
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研究開発用小型蒸着装置 Model：VFR-200M / ERH、Model：VWR-400M / ERH、Model：VTR-350M/ERH、Model：VTS-350M / ERH
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。排気系の構……
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研究開発用小型蒸着装置 Model：VTR-060M / ERH
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。 クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です……
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アークプラズマ法ナノ粒子形成装置 Model：APD
パルス真空アーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置です。 パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する唯一の手……
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