製品情報 真空関連装置
真空関連装置
真空関連コンポーネントプロセス関連装置
プロセス関連装置の一覧へアルバックは真空技術を核とする基盤技術とその周辺技術を結合し、半導体、電子部品、薄型テレビ、太陽電池、自動車、医薬・食品・科学など多岐にわたる産業向け成膜装置を提供しています。
スパッタリング装置
あらゆる業界に多数の納入実績を誇るアルバックのスパッタリング装置です。
真空蒸着装置
アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に……
CVD装置
a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、……
エッチング装置
アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけ……
アッシング装置
電子デバイス、半導体デバイス製造工程に不可欠なレジスト除去技術を、環境配慮型（溶液不使用）……
イオン注入装置
半導体デバイス向け高性能イオン注入装置のシリーズです。SiC用の高温タイプも提供します。
ウェハ用熱処置装置
アルバックのウェハ用熱処理装置は、実績ある高い信頼性を持ち200㎜シリコンウェハの酸化膜成……
成膜材料
成膜材料の一覧へアルバックは長年培った冶金技術を活かし、様々な産業分野で使用される薄膜用材料であるスパッタリングターゲットと蒸着材、高機能材料と位置付ける高融点活性金属の製造・販売を行っております。
薄膜用材料
アルバックのスパッタリングターゲット、蒸着材はメモリー、ロジック、アナログ、パワーなどの半……
高機能材料
アルバックのタンタル・ニオブ板は、粒径が細かく均一です。そのため、プレス歩留まりが高く、プ……
産業関連装置
産業関連装置の一覧へ機械・金属・材料業界から電子・電機・自動車・包装業界、化学・薬品・食品業界まで産業機器関連製造装置の提供をしています。
熱処理・加熱装置
熱処理・加熱装置の一覧へ長年培った赤外線加熱技術を用いた実験炉、急速加熱冷却装置、2インチ～300mm基板対応アニール装置を提供しています。
赤外線イメージ炉
赤外線ゴールドイメージ炉の急速加熱冷却性、温度の精密制御、クリーンな加熱、自在な雰囲気選択……
表面科学関連装置
研究機関や産業界において、高温条件下での濡れ性および接触角の正確な測定を実現し、革新的な材……
鉄鋼・鋼板評価装置
鋼板の連続加熱に特化した高効率システムです。均一な温度制御と省エネルギー設計で、生産性と品……
熱分析・物性装置
熱分析・物性装置の一覧へ様々な材料開発、評価に必須な熱計測システム、熱物性評価装置を赤外線加熱技術と共にお客様の使用目的に応じた装置をご提供いたします。
熱伝導率測定装置
材料の熱特性を高精度に評価できる装置です。固体、液体、粉体、薄膜など多様なサンプルに対応し……
熱物性測定装置
金属材料、高分子材料、セラミック材料などの研究や材料開発に有効な熱物性装置をご紹介いたしま……
熱分析装置
示差熱天秤、熱膨張計、熱機械試験機など基礎的な材料評価の分析装置をご紹介いたします。
有機材料開発関連装置
飽和蒸気圧測定装置、昇華精製装置など有機材料開発に必要不可欠な装置をご紹介いたします。
熱分析・物性 その他装置
お客様のニーズでアドバンス理工の技術を結集して製作した特型対応の装置をご紹介いたします。
表面分析装置
表面分析装置の一覧へアルバックファイの表面分析技術は材料評価に不可欠な技術として、バイオなどの基礎的研究から様々な新材料開発などの応用研究、品質管理や故障解析など、多様な分野でご利用いただけます。
電子分光分析装置（XPS・AES）
試料にX線や電子線を照射したときに試料から放出される電子のエ ネルギーを計測し、組成・化……
二次イオン質量分析装置（SIMS）
試料にイオンを照射したときに試料から放出されるイオンの質量を 計測して、元素分布・分子構……
