有機EL成膜装置
Model：ZELDA
アルバックは、有機ELに向けた量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。
特長
“Model：ZELDA” は、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G2以上対応可能です。
用途
- 有機ELディスプレイ、有機EL照明
仕様
| 型式 | Model：ZELDA |
|---|---|
| 研究開発・デバイス試作 | 量産 |
| 基板サイズ(MAX) | G2以上 |
| 装置形態 | クラスター型・インライン型 |
| タクトタイム | 2min〜 |
| システム構成 | 前処理 ↓ ホール層 発光層 (R) 発光層 (G) 発光層 (B) 電子輸送層 電極層 封止(自動) |