アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。
研究開発用ドライエッチング装置 Model：NE-550EX
高密度プラズマエッチング装置 "Model: NE-550EX" は、有磁場ICP（ISM：ICP with Static Magnetic field）方式の……
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量産用ドライエッチング装置 Model：NE-5700 / NE-7800
量産用ドライエッチング装置 "Model：NE-5700 / NE-7800" は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張……
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研究開発向けNLDドライエッチング装置 Model：NLD-570
研究開発向けNLDドライエッチング "Model：NLD-570" は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ（NLD）による低圧・低電子温度・高密度プラ……
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オプトデバイス・MEMS向けドライエッチング装置 Model：NLD-5700
オプトデバイス・MEMS向けドライエッチング装置 "Model：NLD-5700" は、磁気中性線プラズマ（NLD）源を搭載した量産用ドライエッチング装置です。……
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枚葉式ドライエッチング装置 Model：uGmni-200E
スパッタ、エッチャー、アッシャー＆CVD複数プロセス室組合せ可の "Model：uGmni" は、全プロセス室ULVAC製です。スペア部品の低減や同一操作画面に……
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バッチ式自然酸化膜除去装置 Model：RISE-300
バッチ式自然酸化膜除去装置 "Model：RISE-300" は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置……
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