a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚葉式、バッチ式あるいは開発用特型をラインアップしています。
ロードロック式プラズマCVD装置 Model：CC-200
ロードロック式プラズマCVD装置 "Model：CC-200" は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。
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枚葉式プラズマCVD装置 Model：CME-200E / CME-400
枚葉式プラズマCVD装置 "Model：CME-200E / CME-400" は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用枚葉式プラズマCVD装置……
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プラズマCVD装置 Model：uGmni-200C
スパッタ、エッチャー、アッシャー＆CVD複数プロセス室組合せ可の "Model：uGmni" は、全プロセス室ULVAC製です。スペア部品の低減や同一操作画面に……
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