アルバックのウェハ用熱処理装置は、実績ある高い信頼性を持ち200㎜シリコンウェハの酸化膜成膜や拡散、イオン注入後のアニール等が行える横型バッチ式装置です。
30年以上の実績を誇る信頼性の高い熱処理炉です。200mmシリコンウェハの酸化、拡散、アニール等の熱処理に利用できます。
アルバック販売株式会社
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