電子分光分析装置（XPS・AES）
試料にX線や電子線を照射したときに試料から放出される電子のエ ネルギーを計測し、組成・化学状態・分布情報が得られる装置です。
フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置 PHI GENESIS
X線光電子分光分析装置（XPS）は、試料にX線を照射したときに放出される光電子のエネルギーを測定し、試料表面の組成・化学状態・元素分布を得る分析手法です。PHI……
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走査型オージェ電子分光分析装置（AES・SAM） PHI 710
オージェ電子分光法（AES:Auger Electron Spectroscopy）は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、……
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走査型オージェ電子分光分析装置 AES PHI 4800
PHI 4800は、高感度・高エネルギー分解能を有する静電半球型アナライザを採用し、他の手法では困難なサブミクロン以下の微小領域の化学状態分析を実現します。フィ……
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