アルバック販売では、半導体製造プロセスにおけるウェハや基板のクリーンかつ正確な搬送を実現するため、お客様のワークスペースや運用環境に最適化されたマテリアルハンドリングソリューションをご提案します。
特に、8inch・12inchウェハの一時保管や搬送システムの最適化に貢献し、カスタム対応や小ロットのご要望にも柔軟にお応えします。
自律走行搬送ロボット（AMR：Autonomous Mobile Robot）
アーム付き自律走行搬送ロボット（ Autonomous Mobile Robot ）はバッテリを原動力とし、軌道レールを必要とせず台車内部に作られたMAPやセンサーもとに自律走行する無人搬送車です。
移載中にバッテリへの充電を行うこと（移載中充電）で搬送能力を高めることが可能です。
有軌道式無人搬送車（RGV：Rail Guided Vehicle）
無人搬送台車自動搬送機RGVは、床に設置された軌道レールから電源供給を受け、且つガイドに沿って自走する有軌道無人搬送台車（Rail Guided Vehicle）です。
このRGVはガイド走行を行うため、軌道レールのない無人搬送車AGVに比べて横揺れが少なく高速な走行が可能です。
