研究開発用小型蒸着装置
Model：VPC-1100
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。
大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
- EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
仕様
| 型式 | Model：VPC-1100 | |
|---|---|---|
| 真空性能 | 到達圧力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液体窒素使用時） |
| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa台/10min（液体窒素使用時） |
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| 真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ390mm×高さ350mm) |
| フィードスルカラー | 20ポート(側面14/底面6) | |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | □50mm ・ □220mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 3点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排気系 | メインポンプ※2 | 油拡散ポンプ（水冷） 1100L/sec |
| 液体窒素トラップ | 有り | |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 200L/min、2台 | |
| オイルミストトラップ | オプション | |
| 操作系 | メインバルブ | バタフライバルブ |
| 補助バルブ | 三方向バルブ | |
| 自動リークバルブ | オプション | |
| 操作 | 手動 | |
| 制御系 | ピラニ真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | オプション | |
| 設置 | 最大寸法（本体） | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 最大寸法（電源） | 装置本体収納 | |
| 質量（本体） | 313kg | |
| 質量（電源） | 装置本体収納 | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
※2：ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）仕様にアレンジいたします。
ユーティリティ
| 型式 | Model：VPC-1100 | |
|---|---|---|
| 所要時間 | 本体 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 単相 50/60Hz 1.0kVA | |
| アース端子 | D種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 取り合い | 本体 3Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
| 電源 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m | |
| 所要水量 | 1.5 L/min （水温：20～25℃、水圧：200kPa （ゲージ圧）） | |
| 取り合い （ソケット） | Rp1/4 （カンタッチ継手付） | |
| 推奨ホース※ | テトロンブレードホース（内径9mm×外径15mm） | |
※：冷却水配管は、お客様にて準備願います。