研究開発用小型蒸着装置
Model：VFR-200M / ERH、Model：VWR-400M / ERH、Model：VTR-350M/ERH、Model：VTS-350M / ERH
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。排気系の構成が異なる4タイプを用意しており、取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着（最大４層）が可能です。
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
仕様
| 型式 | Model：VFR-200M / ERH | Model：VWR-400M / ERH | Model：VTR-350M / ERH | Model：VTS-350M / ERH | |
|---|---|---|---|---|---|
| 真空性能 | 到達圧力 | 8.0×10-4Pa 6.0×10-４Pa（液体窒素使用時） |
4.0×10-4Pa 3.0×10-４Pa（液体窒素使用時） |
4.0×10-4Pa 2.0×10-４Pa（液体窒素使用時）※1 |
4.0×10-4Pa 2.0×10-４Pa（液体窒素使用時）※1 |
| 排気時間 | 4.0×10-3Pa/15min 3.0×10-３Pa/15min（液体窒素使用時） |
4.0×10-3Pa/10min 3.0×10-３Pa/10min（液体窒素使用時） |
4.0×10-3Pa/10min 3.0×10-３Pa/10min（液体窒素使用時）※1 |
4.0×10-3Pa/10min 3.0×10-３Pa/10min（液体窒素使用時）※1 |
|
| 真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm) | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm) | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm) | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm) |
| フィードスルカラー | 12ポート(側面8/底面4) | 12ポート(側面8/底面4) | 12ポート(側面8/底面4) | 12ポート(側面8/底面4) | |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | □50mm ・ □140mm（Max） | □50mm ・ □140mm（Max） | □50mm ・ □140mm（Max） | □50mm ・ □140mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 | 1点式 | 1点式 | 1点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
|
| 排気系 | メインポンプ | 油拡散ポンプ（空冷）（200L/sec) | 油拡散ポンプ（水冷）（400L/sec) | ターボ分子ポンプ （345L/sec) | ターボ分子ポンプ （345L/sec) |
| 液体窒素トラップ | 有り | 有り | オプション | オプション | |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ（100L/min） | 油回転真空ポンプ（200L/min） | 油回転真空ポンプ（200L/min） | スクロールポンプ （250L/min） | |
| オイルミストトラップ | インライントラップ OMI-100 | インライントラップ OMI-200 | インライントラップ OMI-200 | ー | |
| 操作系 | メインバルブ | バタフライバルブ | バタフライバルブ | バタフライバルブ | バタフライバルブ |
| 補助バルブ | 三方向バルブ | 三方向バルブ | 三方向バルブ | 三方向バルブ | |
| 自動リークバルブ | オプション | オプション | 有り | 有り | |
| 操作 | 手動 | 手動 | 手動 | 手動 | |
| 制御系 | ピラニ真空計 | GP-1G | GP-1G | GP-1G | GP-1G |
| 電離真空計 | GI-M2 | GI-M2 | GI-M2 | GI-M2 | |
| 設置 | 最大寸法（本体） | 730mm（W）×603mm（D）×1161mm（H） | 730mm（W）×709mm（D）×1161mm（H） | 730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H） | 730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H） |
| 最大寸法（電源） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
| 質量（本体） | 145kg | 148kg | 160kg | 160kg | |
| 質量（電源） | 40kg | 40kg | 40kg | 40kg | |
※1：液体窒素トラップはオプションです。
※2：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型式 | Model：VFR-200M / ERH | Model：VWR-400M / ERH | Model：VTR-350M / ERH | Model：VTS-350M / ERH | |
|---|---|---|---|---|---|
| 所要時間 | 本体 | 100V 単相 50/60Hz 1.4kVA | 100V 単相 50/60Hz 1.6kVA | 100V 単相 50/60Hz 1.4kVA | 100V 単相 50/60Hz 0.9kVA |
| 電源 | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
| アース端子 | D種（接地抵抗値 100Ω以下） | D種（接地抵抗値 100Ω以下） | D種（接地抵抗値 100Ω以下） | D種（接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
| 電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | |
| 所要水量 | ー | 2.0 L/min （水温20～25℃、水圧 200kPa（ゲージ圧）） | ー | ー | |
| 取り合い （ソケット） | ー | Rp1/4 （カンタッチ継手付） | ー | ー | |
| 推奨ホース※ | ー | テトロンブレードホース （内径9mm－外径15mm） | ー | ー | |
※：冷却水配管は、お客様にて準備願います。