リチウム電池向けマルチチャンバー型実験機
Model：LX-200
Li金属負極の素材技術開発に適した、スパッタ・蒸着複合小型実験機
特長
- 最大200㎜×200㎜の基板が扱える実験機
- マルチチャンバーにより真空一貫積層が可能
- プロセス室は蒸着、スパッタもしくは両方が選択可能
用途
- リチウム電池
仕様
| 蒸着室 | スパッタ室 | ||
|---|---|---|---|
| 構成 | 基板サイズ | 200mm x 200mm | |
| 蒸着方向 | デポアップ | ||
| 搬送室 | 基板ホルダー：Φ320mm | ||
| 基板加熱 | – | 300℃まで＠Si基板 | |
| S/S 距離 | 210mm | 60 〜 180mm（可変距離120mm） | |
| 電源供給 | ランプヒータ | DC電源 1式 + RF電源 1式 | |
| ソース | るつぼ | Φ4” プレーナマグネトロンカソード ４式 | |
| 到達圧力 | 4.0×10-5（Pa）以下 | 1.0×10-4（Pa）以下 | |
| ポンプ | ドライポンプ, ターボ分子ポンプ | ||
| プロセスガス | – | Ar,O2,N2 3式 | |
| 仕様 | 成膜レート | 5nm/sec | 1nm/sec |
| 分布 | ± 5% ※膜種により前後します | ||
| ユーティリティ | 所用電源 | 3Φ200V±10%, 50kVA | |
| 冷却水 | 0.2MPa, 32L/min, 20℃~28℃ | ||
| 圧空 | 0.4 ~ 0.7 MPa 圧空駆動式アクチュエーター用 | ||
| ドライエアー | 0.05 MPa, **L/cycle 本機ベントガス用 | ||
| ガス | Ar+CO2 (5%) 0.05MPa | Ar 0.05MPa, N2 0.05Mpa, O2 0.05MPa | |