第87回応用物理学会 秋季学術講演会、JSAP EXPO Autumn 2026に出展いたします
本学術講演会では口頭発表・ポスター発表を行うほか、併設のJSAP EXPO Autumn会場では、研究用途向け製品や先端実装に関するソリューション、カスタマーサポートなどをご紹介します。ULVACのさまざまな技術や製品に触れていただける機会です。
アルバック・グループ一同、皆様のお越しをお待ち申し上げております。
| 開催日時 | 2026年 9月8日（火）～11日（金） ※プログラムにより終了時間が異なります。 |
|---|---|
| 会場 | 北海道大学 札幌キャンパス
※会場へのアクセスは第87回応用物理学会 秋季学術講演会よりご確認ください。 |
第87回応用物理学会 秋季学術講演会
北海道大学 札幌キャンパスおよびオンラインのハイブリッド形式で開催されます。株式会社アルバックは、本学術講演会において、4件の口頭発表および3件のポスター発表を行います。
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JSAP EXPO Autumn2026 展示のご案内
アルバックテクノ株式会社のブースでは、R&D用スパッタリング装置をはじめ、各種研究用途向け製品や、Panel Level PackagingにおけるAshing/PVD Sputterなど、先端実装の製造工程で使用されるULVAC製品をご紹介します。また、カスタマーサポートのご紹介に加え、真空装置の設計・製造や成膜事例などに関するご相談も承っております。
ぜひブースへお立ち寄りください。
日時：2026年9月8日(火)～10日(木) 9：00～18：00、2026年9月11日(金) 9：00～13：00
会場：北海道大学 札幌キャンパス PB / 第二体育館
ブース番号：【B-57】アルバックテクノ株式会社
<< 展示内容 >> ※は実機展示
| 1. R＆D用スパッタリング装置 | 最大4カソード搭載による高い成膜自由度と、研究開発用途に最適化された「Model:QAM-4」 |
|---|---|
| 2. 超純水・純水製造装置 ※ | 水道水から超純水と純水（DI）を製造可能「aquapuri5シリーズ」 |
| 3. オープンクリーンシステム ※ | 卓上作業に適した、持ち運べるテーブルコーチで、高い清浄度のクリーンゾーンを手軽に実現 |
| 4. Panel Level Packaging Ashing/PVD Sputter | 先端実装の製造工程で使用されるULVAC製品ラインナップ |
| 5. カスタマーサポート | 装置導入後の保守・メンテナンスなど、ULVACのカスタマーサポート |