アルバックのウェハ用熱処理装置は、実績ある高い信頼性を持ち200㎜シリコンウェハの酸化膜成膜や拡散、イオン注入後のアニール等が行える横型バッチ式装置です。
横型熱処理装置 Model：H83 / H84
”Model：H83 / H84”は、200mmシリコンウェーハの拡散・熱酸化・アニール工程に対応した半導体製造向け横型拡散炉です。5ゾーン独立温度制御による優……
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アルバック販売株式会社
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アルバックのウェハ用熱処理装置は、実績ある高い信頼性を持ち200㎜シリコンウェハの酸化膜成膜や拡散、イオン注入後のアニール等が行える横型バッチ式装置です。
”Model：H83 / H84”は、200mmシリコンウェーハの拡散・熱酸化・アニール工程に対応した半導体製造向け横型拡散炉です。5ゾーン独立温度制御による優……
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