
製造装置の最適な環境を実現するための包括的なサービスです。免震対策やクリーンルーム構築など、装置の安定稼働を支える環境づくりを提供し、高品質な製造プロセスをサポートします。
全く新しい発想から生まれたスーパークリーン生成装置です。
クリーンシステムへ免震装置を施設し、お客様の大切な製造装置や部品を地震の揺れから守りします。
免震装置へストッカーは、保管棚、スタッカークレーン、入出庫ポートで構成される自動倉庫です。
ストッカーへクリーンルーム内半導体製造設備として、8inch, 12inchを中心とした自動搬送システムをご提供します。
自動搬送車へ