半導体製造装置などの小物部品や、FPD製造装置向けの超大型部品を洗浄することで機能を向上させ、装置内のパーティクル低減に役立ちます。
この再生洗浄に関わる全ての工程を一貫処理ができ、スピーディーな納期対応が可能です。
再生洗浄
真空装置全体に関する豊富な知識を基に、お客様のプロセスに最適な再生洗浄を行います。装置部品の表面に付着した堆積物を除去し、表面処理と精密洗浄を丁寧に実施します。この一連の工程により、部品の寿命を延ばし、洗浄サイクルを最適化するだけでなく、有価物の回収を通じて環境負荷の軽減します。効率性と持続可能性を両立した技術で、お客様のお客様のニーズにお応えします。
無害化洗浄サービス
有害物質を使用した真空機器は、買い取りおよび無害化洗浄が可能です。最寄りのアルバックテクノカスタマーサービス拠点が迅速に対応いたします。無害化の必要な真空機器は以下でご確認ください。放射性物質については取り扱いを行っていません。
無害化の必要な真空機器一覧
| 主な装置 | ガスによる汚染 | 材料による汚染 | 副生物による汚染 | 基板による汚染 |
|---|---|---|---|---|
| 蒸着装置 | 通常なし | 蒸発材料 Pb，Se等 | 通常なし | GaAs基板等 |
| スパッタ装置 | 通常なし | ターゲット材料 Cd等 | 通常なし | GaAs基板等 |
| エッチング装置 | CL系、BCL等 | CL系、BCL等 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| CVD装置 | シラン系、MoH6,WF6 | シラン系、MoH6,WF6 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| イオン注入機 | PH3,AsH3, B2H6 | PH3,AsH3, B2H6 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| その他 | 要確認 | 要確認 | 要確認 | GaAs基板等 |
再生洗浄に関するお問い合わせ
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