表面分析装置

アルバックファイの表面分析技術は材料評価に不可欠な技術として、バイオなどの基礎的研究から様々な新材料開発などの応用研究、品質管理や故障解析など、多様な分野でご利用いただけます。

• 電子分光分析装置（XPS・AES）

  試料にX線や電子線を照射したときに試料から放出される電子のエ ネルギーを計測し、組成・化学状態・分布情報が得られる装置です。

  

• 二次イオン質量分析装置（SIMS）

  試料にイオンを照射したときに試料から放出されるイオンの質量を 計測して、元素分布・分子構造が得られる装置です。