アルバックは真空機器の総合メーカーとしてコンポーネント開発にも力を注ぎ、真空ポンプや計測・分析機器から各種成膜装置用電源、真空バルブなどの構成部品まで多種多様なラインアップを取り揃えています。
真空装置を構成するアルバックの各種真空機器利用例
スパッタリング装置での各種真空機器利用例
（真空アングルバルブ） 真空バルブ（振り子バルブ） 真空計（マルチゲージ） プロセスガス プロセスガスモニタ 直流電源システム パルスユニット マッチングボックス 高周波電源システム
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真空蒸着装置での各種真空機器利用例
（真空アングルバルブ） プロセスガスモニタ 真空計（マルチイオンゲージ） 水晶発振式成膜コントローラ／センサ 電子銃用電源コントローラ 電子銃用電源 電子銃
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真空熱処理炉での各種真空機器利用例
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リークテスト装置での各種真空機器利用例
（真空アングルバルブ） 真空計（ピラニ真空計） リークディデクタ トレーサーガス
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真空ポンプ 真空ポンプの一覧へ
アルバックの真空ポンプは排気特性が非常に優れています。用途に応じた豊富な機種、オプションがあり多くのお客様にご愛用いただいております。
真空ポンプ（低・中真空）
油回転ポンプの他にドライポンプもルーツ型やダイアフラム型、ピストン型など、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。
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真空ポンプ（高真空）
ターボ分子ポンプやクライオポンプ、スパッタイオンポンプなど、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。
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計測機器 計測機器の一覧へ
アルバックの計測器は、シンプルさと使いやすさを実現し多くのお客様にご愛用いただいております。また各計測器の校正サービスも充実しております。
真空計
アルバックは、ピラニ真空計から電離真空計、極高真空計まで、大気圧から極高真空（10-12Pa）のあらゆる領域・条件・用途向けの真空計をラインアップしています。
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ガス分析計
アルバックの残留ガス分析（プロセスガスモニタ）は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各種真空装置用（真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉）や研究開発用など用途別にラインアップしています。
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リークディテクタ
国内納入実績No1を誇るアルバックのリークディテクタ HELIOTシリーズは、ヘリウム(Helium)リークテスト（漏れ検査）のあらゆるニーズに広く対応する全自動リークディテクタです。
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へリウムリークテスト装置
車関連部品や製缶品のリーク検査はもちろん、包装用パッケージの漏れ検出から特殊なガス漏れ検出にまで活躍するリークテスト装置です。
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高速分光エリプソメータ
アルバックの薄膜計測は、ご用途、測定目的に合った豊富なバリエーションの高速分光エリプソメータを提供します。
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成膜コントローラ
アルバックの成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました。単層膜から多層膜まで、幅広い成膜プロセスに対応が可能です。
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触針式プロファイラ
KLA-Tencor社製の触針式プロファイラーは、さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。
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プラズマ発生用電源 プラズマ発生用電源の一覧へ
プラズマ発生用電源として設計されたものです。アプリケーションも含んだノウハウを入れ込んだ汎用性の高い安定した電源です。様々な特徴を持った電源をラインナップしております。
パルス及び直流電源システム
長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
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高周波電源システム
研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用いただくことができます。
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真空蒸着用電子銃 真空蒸着用電子銃の一覧へ
長年にわたる技術の蓄積と実績を基に、性能と信頼性を向上した電子銃、電源をラインナップしています。
電子銃
フィラメントの長寿命化を実現した金属用、光学用電子銃を豊富にラインナップしています。
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電子銃用電源
回路の安定化と性能の向上を図り、様々な電子銃に対応した電源です。
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真空バルブ 真空バルブの一覧へ
アルバックは、L型バルブからゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。
真空アングルバルブ
アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。
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振り子バルブ
真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されたゲートバルブです。コンダクタンス大きく省スペースに有効です。
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真空搬送ロボット 真空搬送ロボットの一覧へ
アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かしたクリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
真空搬送ロボット
アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かしたクリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
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