製品情報 真空関連コンポーネント
真空関連装置
真空関連コンポーネント
ULVAC SHOWCASEは、真空装置を構成する真空機器にフォーカスをあてアルバックグループが生産・販売する製品を集結した総合サイトです。
真空機器・コンポーネント製品の詳細はULVAC SHOWCASEサイトでご覧ください。
真空ポンプ
真空ポンプの一覧へアルバックの真空ポンプは排気特性が非常に優れています。用途に応じた豊富な機種、オプションがあり多くのお客様にご愛用いただいております。
真空ポンプ（低・中真空）
油回転ポンプの他にドライポンプもルーツ型やダイアフラム型、ピストン型など、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。
真空ポンプ（高真空）
ターボ分子ポンプやクライオポンプ、スパッタイオンポンプなど、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。
計測機器
計測機器の一覧へアルバックの計測器は、シンプルさと使いやすさを実現し多くのお客様にご愛用いただいております。また各計測器の校正サービスも充実しております。
真空計
アルバックは、ピラニ真空計から電離真空計、極高真空計まで、大気圧から極高真空（10-12P……
ガス分析計
アルバックの残留ガス分析（プロセスガスモニタ）は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各……
リークディテクタ
国内納入実績No1を誇るアルバックのリークディテクタ HELIOTシリーズは、ヘリウム(H……
へリウムリークテスト装置
車関連部品や製缶品のリーク検査はもちろん、包装用パッケージの漏れ検出から特殊なガス漏れ検出……
高速分光エリプソメータ
アルバックの薄膜計測は、ご用途、測定目的に合った豊富なバリエーションの高速分光エリプソメー……
成膜コントローラ
アルバックの成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました……
触針式プロファイラ
KLA-Tencor社製の触針式プロファイラーは、さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価……
プラズマ発生用電源
プラズマ発生用電源の一覧へプラズマ発生用電源として設計されたものです。アプリケーションも含んだノウハウを入れ込んだ汎用性の高い安定した電源です。様々な特徴を持った電源をラインナップしております。
パルス及び直流電源システム
※ULVAC SHOWCASEへ移動長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
高周波電源システム
※ULVAC SHOWCASEへ移動研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用いただくことができます。
真空蒸着用電子銃
真空蒸着用電子銃の一覧へ長年にわたる技術の蓄積と実績を基に、性能と信頼性を向上した電子銃、電源をラインナップしています。
電子銃
※ULVAC SHOWCASEへ移動フィラメントの長寿命化を実現した金属用、光学用電子銃を豊富にラインナップしています。
電子銃用電源
※ULVAC SHOWCASEへ移動回路の安定化と性能の向上を図り、様々な電子銃に対応した電源です。
真空バルブ
真空バルブの一覧へアルバックは、L型バルブからゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。
真空アングルバルブ
※ULVAC SHOWCASEへ移動アングルバルブのラインアップを充実させました。開閉は複動・単動シリンダに手動まで、接続フランジタイプは4種類、サイズは5/8～36inchまでと幅広いニーズにお……
振り子バルブ
※ULVAC SHOWCASEへ移動真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されたゲートバルブです。コンダクタンス大きく省スペースに有効です。
真空搬送ロボット
真空搬送ロボットの一覧へアルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かしたクリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
低温機器
低温機器の一覧へ長年培った真空技術と極低温技術をベースに豊富な実績に裏付けられた極低温冷凍機は、先端産業や研究開発のご期待にお応えします。
極冷温冷凍機
※ULVAC SHOWCASEへ移動4K 冷凍機やパルスチューブ冷凍機などの需要が拡大していくなか、長年培った真空技術と極低温技術をベースに豊富な実績に裏付けられた極低温冷凍機は、先端産業や研究開……
液体窒素ジェネレーター
※ULVAC SHOWCASEへ移動民間企業や大学研究所など、細胞・組織・ワクチンなどの凍結保存容器に使用されています。
