ストッカーイメージ
装置環境対策イメージ

ストッカーは、保管棚、スタッカークレーン、入出庫ポートで構成される自動倉庫です。FOUP、SMIF、Open Cassette並びにTrayなどに収納したウェハや基板をケースごとにクリーンな環境下で保管します。

また、収納ケースの所在を明確にすることで効率的な搬送物の固体管理が可能です。

ストッカー導入の3つのメリット

  1. 1トレーサビリティの確保

    ロット所在管理の明確化により最適な在庫管理、製品に対するリスクマネジメントに貢献します。

  2. 2サイクルタイムの短縮

    プロセス間の時間短縮により製造工期の短縮、生産効率の向上、納期の短縮に貢献します。

  3. 3省人化・活人化・ヒューマンエラーの削減

    ワークの保管・取り出し作業の自動化により作業者への負担の軽減、安全の確保、人的ミスの削減に貢献します。

様々なストッカー例

外形寸法、入出庫ポート、ワークスペース、貴社の運用などにあわせカスタマイズ提案が可能です。以下にストッカーの一例をご紹介します。

SMIFストッカーイメージ
SMIFストッカー
Open Casetteストッカー
レチクルストッカー

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