昇温脱離ガス分析装置
TDSシリーズ TDS-M202R
質量分析計を用いて脱離ガスの定性分析に赤外線ゴールドイメージ炉により試料を昇温させながら、試料温度と放出ガスの関係を四重極型質量分析計で分析します。
特長
- 高真空10-5 Pa台で質量分析測定が可能
- 赤外線ランプ加熱により石英製反応管はコールドウォールで放出ガスがほとんどありません。
- 高速加熱から低速加熱までの幅広い設定範囲を持ち多段ステップ加熱やサイクル加熱が可能
用途
- 真空グリース、Ｏ－リングなどの各種真空材料の評価
- 半導体ウェハ、チップの評価
- 合金、セラミックス、固体材料などの微量ガス分析
仕様
| 型式 | TDS-M202R |
|---|---|
| 測定物性 | 定性ガス分析 |
| 温度範囲 | 室温～1000℃（MAX1200℃） |
| 試料寸法 | 20mm角×2mmH |
| 測定雰囲気 | 真空中 |