フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置
PHI GENESIS
X線光電子分光分析装置（XPS）は、試料にX線を照射したときに放出される光電子のエネルギーを測定し、試料表面の組成・化学状態・元素分布を得る分析手法です。PHI GENESISは、電池・半導体・人工光合成・触媒などの開発・故障解析に欠かせない装置です。10μm以下の微小分析も可能で自動化や多機能性も極めた装置です。
特長
- フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置
- 自動搬送系、超高真空内パーキングによる多試料測定
- 大面積から微小部まで高感度、高スループット
- 高速XPS深さ方向分析
- 非破壊HAXPES深さ方向分析
- 試料加熱・冷却、電圧印加、大気非暴露測定オプション
用途
- 触媒
- IoT
- モーター
- トライボロジー
- バイオ産業
- ライフサイエンス
- 高分子
- セラミックス
- セラミックス
- 金属
- その他あらゆる固体材料やデバイス
背景
全固体電池、最先端半導体、人工光合成などの先端材料は複雑に素材を組み合わせており、その研究開発では、素材の性能とともに素材の接合の最適化についてもスピードが求められます。このような研究開発を飛躍的に加速する、高性能かつ高機能な表面・界面分析へのニーズが高まっています。このたび当社では、基本性能が極めて高いだけでなく、高度な自動化で顧客のさまざまな個別の要求に応える新しい表面分析装置の提供を始めました。それが、アルバック・ファイ社の新製品「PHI GENESIS」走査型X線光電子分光分析装置（XPS：X-ray photoelectron Spectroscopy）です。
概要
「PHI GENESIS」XPSは、コンパクトな筐体に圧倒的な基本性能を内在させ、50年の伝統を持つPHI XPSシリーズの”中核遺伝子”である高度な自動化と分析時間の短縮をさらに進化させた上に、拡張性をも併せ持つ新製品です。
「PHI GENESIS」XPSは自動試料交換による多試料自動分析、計数率を向上させた高感度アナライザーにより、高速・高感度・微小XPS分析を提供します。これまでにアルバック・ファイ社とフィジカル・エレクトロニクスUSA社は世界初のXPS分析技術として様々な技術（走査型マイクロＸ線、全自動ロボティクスXPS分析、絶縁物自動中和分析、クラスターイオンエッチング銃による有機物の深さ方向分析、高エネルギー光電子分光による無機物深さ方向分析）を実用化してきました。これらの技術全てが本装置一つに組み込まれており、金属、半導体、セラミックス、有機物などのあらゆる素材の最先端XPS分析技術を1台で提供することを可能としました。
PHI GENESISのもう一つの新機軸は、表面分析初心者から最先端の科学者まで、製造現場から最先端の開発・研究まで、あらゆるレベルのユーザーが使えるように設計され、使いやすさを追求した新しいソフトウェアをパッケージ化したことです。また、これまで大型シンクロトロンのような高度な分析機器を必要とした高度な分析を一般的な実験室環境下で実施できるオプションも準備しました。
PHI GENESISは、現在の最先端の複合固体材料・複合固体デバイスの分析に完全に対応することにより、研究開発のスピードアップに欠かせない分析装置として世界市場の席巻を目指します。