横型熱処理装置
Model：H8
30年以上の実績を誇る信頼性の高い熱処理炉です。200mmシリコンウェハの酸化、拡散、アニール等の熱処理に利用できます。
特長
- 酸化炉、拡散炉、アニール炉として採用されている横型炉
- 1つの装置で異なるプロセスも選択可能
- 3段、4段構成とすることで省スペースを実現
- 5ゾーンヒータはそれぞれ独立制御しており、均熱性、安定性に優れた温度制御が可能
- 自社製制御系を搭載しており、容易で信頼性の高い運転を実現
- “Model：H83-125″、”Model：H84-125” はボートエレベータを標準装備しており、上段へのローディングも容易
- パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、オキシ塩化リン（POCl3）や三臭化ホウ素（BBr3）を使用したリン拡散やボロン拡散、アニールなどの処理が可能
用途
- シリコンウェハの熱酸化、拡散、アニール処理
仕様
| 型式 | Model：H83-50 | Model：H83-125 | Model：H84-125 |
|---|---|---|---|
| プロセス | 酸化、拡散、アニール | ||
| ウェハ径 | ～200mm (8 inch) | ||
| 段数 | 3 | 3 | 4 |
| プロダクトウェハ数 | 50 | 125 | 125 |
| ヒータゾーン | 5 | ||
| ヒータ材質 | Fe-Cr-Al | ||
| 常用温度 | 600～1200 ℃ | ||
| 均熱長 | 370 mm | 800 mm | 800 mm |
| 均熱性 | ±1.0 ℃ | ||