研究開発用小型蒸着装置
Model：VTR-060M / ERH
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能
- ターボ分子ポンプを搭載
- スイッチ操作だけで高真空排気が可能
- 高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能
- 低融点金属の蒸着に最適
仕様
| 型式 | Model：VTR-060M / ERH | |
|---|---|---|
| 真空性能 | 到達圧力 | 10-４台（真空層内無負荷清浄時） 1.5×10-３Pa（オプション仕様） |
| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/20min（真空槽内無負荷清浄時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 円筒型ガラスチャンバー（Φ236mm×Ｈ250mm) |
| ベースプレート | 7ポート（底面） | |
| 基板サイズ・最大サイズ | □25mm ・ □50mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM/PSE-150C・1式 0～10V 80A (MAX) |
|
| 排気系 | メインポンプ | ターボ分子ポンプ(空冷) 60Ｌ/sec |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 20L/min | |
| オイルミストトラップ | OMT-050A | |
| 操作系 | メインバルブ | オプション（バタフライバルブ） |
| 補助バルブ | オプション（三方向バルブ） | |
| 自動リークバルブ | オプション（電磁弁） | |
| 真空槽ベントバルブ | オプション（リークポート） | |
| 操作 | 手動 | |
| 制御系 | 真空計 | オプション (ISG1) |
| 膜厚計 | オプション (CRTM-6000G) | |
| 設置 | 最大寸法（本体） | 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H) |
| 最大寸法（電源） | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質量（本体） | 50kg | |
| 質量（電源） | 24kg | |
ユーティリティ
| 型式 | Model：VTR-060M / ERH | |
|---|---|---|
| 所要時間 | 本体 | 100Ｖ 単相 50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100Ｖ 単相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m |
| 電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m | |
※：アース付コンセントを、2系統ご用意願います。