研究開発用小型蒸着装置
Model：VPC-260F
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
仕様
| 型式 | Model：VPC-260F | |
|---|---|---|
| 真空性能 | 到達圧力 | 1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液体窒素使用時） |
| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液体窒素使用時） |
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| 真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm) |
| フィードスルカラー | 8ポート(側面8) | |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | □50mm ・ □140mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排気系 | メインポンプ | 油拡散ポンプ（空冷） 200L/sec |
| 液体窒素トラップ | 有り | |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 100L/min | |
| オイルミストトラップ | オプション | |
| 操作系 | メインバルブ | クラッパーバルブ |
| 補助バルブ | 三方向バルブ | |
| 自動リークバルブ | オプション | |
| 操作 | 手動 | |
| 制御系 | ピラニ真空計 | オプション |
| 電離真空計 | オプション | |
| 設置 | 最大寸法（本体） | 530mm（W）×550mm（D）×1135mm（H） |
| 最大寸法（電源） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
| 質量（本体） | 75kg | |
| 質量（電源） | 40kg | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型式 | Model：VPC-250F | |
|---|---|---|
| 所要時間 | 本体 | 100V 単相 50/60Hz 1.35kVA |
| 電源 | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
| アース端子 | D種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 2m |
| 電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | |