研究開発用小型蒸着装置
Model：VPC-061 / 061A
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能
- 停電時に自動リーク弁によりメインポンプを保護（Model：VPC-061A）
仕様
| 型式 | Model：VPC-061 | Model：VPC-061A | |
|---|---|---|---|
| 真空性能 | 到達圧力 | 1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液体窒素使用時） |
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| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液体窒素使用時） |
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| 真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ150mm×高さ200mm) | |
| フィードスルカラー | 3ポート(底面3) | ||
| 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | □25mm ・ □50mm（Max） | ||
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 | |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排気系 | メインポンプ | 油拡散ポンプ（空冷） 50L/sec | |
| 液体窒素トラップ | 有り | ||
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 20L/min | ||
| オイルミストトラップ | オプション | ||
| 操作系 | メインバルブ | バタフライバルブ | |
| 補助バルブ | 三方向バルブ | ||
| 自動リークバルブ | ー | 有り | |
| 操作 | 手動 | ||
| 制御系 | ピラニ真空計 | オプション | |
| 電離真空計 | オプション | ||
| 設置 | 最大寸法 本体 | 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H) | |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | ||
| 質量 本体 | 28kg | 32kg | |
| 電源 | 40kg | ||
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型式 | Model：VPC-061 | Model：VPC-061A | |
|---|---|---|---|
| 所要時間 | 本体 | 100V 単相 50/60Hz 0.63kVA | |
| 電源 | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | ||
| アース端子 | D種（接地抵抗値 100Ω以下） | ||
| 取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 2m | |
| 電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | ||
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