巻取式真空蒸着装置
Model：EW
高分子フィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。コンデンサ、包装材料他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。
特長
- 基板搬送は最新の巻取制御技術を駆使し、各種材質、サイズに応じ安定した走行を実現しています。
- 蒸着目的に応じ、最適な蒸発源（誘導加熱方式、抵抗加熱方式）を選択できます。
- プロセス条件を最適化する為に、各種前処理／後処理機構を取り揃えております。
- オンライン測定が可能な、透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタ・等を取り揃えております。
用途
- コンデンサ
- 包装材料、透明ガスバリア、金銀糸
仕様
| Model：EWA | Model：EWE | Model：EWD | |
|---|---|---|---|
| 用途 | 包装材料、金銀糸 | コンデンサ | |
| 蒸発源 | 高周波誘導加熱方式 | 抵抗加熱方式 | |
| 基板材質 | PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等 | ||
| 基板サイズ（幅） | 〜3000ｍｍ | ～1100ｍｍ | ～800ｍｍ |
| 巻取速度 | 1,000 m/min max. | 1,200 m/min max. | |
| 膜厚分布n | ±5%（成膜条件により変動します） | ||
| 膜厚モニター | 透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等 | ||
| 膜厚モニター | 基板加熱、AC/DCボンバード、RFボンバード等 | ||
| 主排気系 | 油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ | ||
