バッチ式スパッタリング装置
Model：SV
"Model：SV" は縦型のバッチ式スパッタリング装置です。
特長
- “Model：SV-4540、6040、9045” は、カルーセル型で基板仕込み量が多く、小から中規模あるいは少量多品種の生産に最適
用途
- 各種基板上への電極膜成膜、絶縁膜、誘電体膜成膜
仕様
| 型式 | Model：SV-4540 | Model：SV-6040 | Model：SV-9045 |
|---|---|---|---|
| 標準排気系 | 12”クライオポンプ | 12”クライオポンプ | 16”クライオポンプ |
| 到達圧力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| デポ方向 | サイド | サイド | サイド |
| 成膜エリア 均一性M 静止 回転 |
L300mm±10％ | L300mm±10％ | L400mm±10％ |
| 基板加熱 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 制御系 | 自動 | 自動 | 自動 |
| オプション | ターボポンプ | 非水冷電極 | |
| 油拡散ポンプ | APC機構 | ||
| 多元同時デポ | 基板反転機構 | ||
| ダウンデポ | 反応性スパッタ | ||
| コンベンショナルカソード | |||
| 強磁性体用カソード | |||
| RFエッチクリーニング（SV-4540） | |||
| バイアス機構（SV-4540） | |||