マルチチャンバ型スパッタリング装置
Model：SME

プロセス室を複数搭載可能なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

マルチチャンバ型スパッタリング装置 <br>Model：SMEイメージ

特長

  • Φ200mm基板を搬送可能
  • プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ
    誘電体用モジュール、高温成膜モジュール、精密分布モジュール、エッチングモジュール

用途

  • 電子部品
  • MEMS
  • パワーデバイス
  • LED

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