マルチチャンバ型スパッタリング装置
Model：MLX-3000N

マルチチャンバ型スパッタリング装置 "Model：MLX MLX-3000N" は、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜装置です。ウェハサイズは75mm〜200mmまで対応可能です。