ロードロック式スパッタリング装置
Model：CS
研究開発から小規模生産まで対応のシングルチャンバー式スパッタリング装置です。従来のプロセスデータやノウハウをいかし、使いやすさを重視したデザインに一新しました。
特長
- 複数カソードでの積層スパッタリングに対応が可能
- データロギング可能
- 基板搬送能力は最大Φ300mm（成膜性能はΦ190mmまで保証）
- レシピ制御による自動多層成膜が可能
- ロードロック室のカセットに最大5枚のトレイを収納でき、トレイはマニピュレーターで自動搬送が可能
用途
- 電子部品向け研究開発、及び小規模生産向け