インライン式スパッタリング装置
Model：SCV（縦型）, SCH（横型）

スパッタリング装置”Model：SCV、SCH”は、多様な材料の成膜に対応するインライン式スパッタリング装置です。さまざまな基板サイズに対応し、量産ラインから試作工程まで幅広く活用できます。ULVAC独自の搬送システムにより、高いスループットと優れたコストパフォーマンスを実現しています。高い柔軟性を備え、多品種生産にも対応可能です。