インターバック式スパッタリング装置
Model：SIV（縦型）, SIH（横型）

スパッタリング装置”Model：SIV、SIH”は、多様な材料の成膜に対応するインターバック式縦型スパッタリング装置です。
さまざまな基板サイズに対応し、量産ラインから試作工程まで幅広く活用できます。ULVAC独自の搬送システムにより、高いスループットと優れたコストパフォーマンスを実現しています。高い柔軟性を備え、多品種生産にも対応可能です。