研究開発用中電流イオン注入装置
Model：IMX-3500
中電流イオン注入装置 "Model：IMX-3500" は、最大エネルギ200kV、ウェハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。
特長
- 最大ウェハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載
- イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取り扱いが容易な固体蒸発源も使用可能
- HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保
仕様
| エネルギ | 30～200keV（オプションで3～200keV対応） |
|---|---|
| 最大ビーム電流 | 11B+ 400μA(200keV)、31P+ 600μA(200keV) |
| 最小ビーム電流 | 150nA |
| イオン種 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |