SiC用高温イオン注入装置
Model：IH-860PSIC
高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。
特長
- 自動連続高温処理注入が可能
- 1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能（オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応）
- デュアルエンドステーションにて高スループットを実現（A系4″高温ESC/B系3″高温ESC、A系6″高温ESC/B系6″常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能）
- チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減
- コンパクト設計
- 試作から量産まで幅広く対応可能
用途
- SiC向けイオン注入装置