研究開発向けNLDドライエッチング装置
Model：NLD-570
研究開発向けNLDドライエッチング "Model：NLD-570" は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ（NLD）による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置です。
特長
- NLDはICP方式に比べ、さらに低圧・高密度・低電子温度のプラズマを生成し、石英、ガラス、水晶、LN、LT基板などの加工に対応
- 優れた形状制御と表面平滑性を実現したエッチングが可能
- チャンバーメンテナンスが簡単で、効率的
- マスクエッチングから石英・ガラスのエッチングまで、幅広いプロセスソリューションを提供可能
- 複数台のデモ機を用意し、安定性や新規プロセス評価が可能
用途
- 光デバイス（回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々）、凹凸型のマイクロレンズ、フォトニック結晶、流体経路（μ-TAS）作成など