量産用ドライエッチング装置
Model：NE-5700 / NE-7800
量産用ドライエッチング装置 "Model：NE-5700 / NE-7800" は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。
特長
- 1チャンバー以外にさらに有磁場ICP（ISM）やNLDプラズマ源、アッシングチャンバーやCCPチャンバーが搭載可能で多用なエッチングプロセスに対応
- プロセス再現性や安定性のためのスター電極や各種温調機能を搭載
- 容易なメンテナンス構造で最小のダウンタイム、再生洗浄やパーツ提供、メンテナンスやトレイニングサービス等の総合バックアップ体制
- 半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制
用途
- 化合物（LEDやLD、高周波デバイス）やパワーデバイス（IGBT配線加工、SiC加工）
- メタル配線や層間絶縁膜（樹脂系）、ゲート電極加工プロセス
- 強誘電体材料、貴金属エッチング
- 磁性体材料加工