真空ポンプ（高真空）

クライオポンプは、気体分子を極低温面で凝縮、吸着させることにより、すべての気体を排気することができます（特に水分の排気能力が高い）。真空容器内で動作するものが無……

ヘリウム冷凍機を用いるスーパートラップは、水分の排気速度を大幅にアップさせて、装置の稼働率向上に寄与します。 使用する冷媒は、地球温暖化係数が低く、環境に優し……

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実……

イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく超・極高真空を得られます。また、完全オイルフリーで……

油拡散ポンプは、構造が比較的単純でメンテナンス性、保守性に優れていると同時に大きな排気速度が得られます。単独での使用はできず、必ずフォアポンプとして油回転真空ポ……

アルバックの主ポンプ（ターボ分子ポンプ・メカニカルブースタポンプ・拡散ポンプ等）、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真……

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