真空計

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用で……

熱陰極電離真空計は、測定子とコントローラー、あるいは測定子・コントローラーと測定子とコントローラーを繋ぐケーブルで構成され、ピラニ真空計よりも低い圧力を測定でき……

冷陰極電離真空計は、測定子とコントローラーで構成され、取り扱いが簡単、ユーザーで測定子内部の清掃ができる上、消耗品を交換する事ができる真空計です。測定可能範囲は……

優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく、精度良く測定出来ます。