高速分光エリプソメータ

位置決めが簡単な手動ステージタイプから、計量・コンパクトなポータブルタイプ大小さまざまなサンプルに対応します。

マッピング測定が可能な自動タイプです。自動ステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

アルバックのUNECS-1Mは、軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの組み込みが容易に行なえます。通常の大気タイプのほか、真空環境に対応した真……