成膜コントローラ
ULVAC SHOWCASEは、真空装置を構成する真空機器にフォーカスをあてアルバックグループが生産・販売する製品を集結した総合サイトです。
真空機器・コンポーネント製品の詳細はULVAC SHOWCASEサイトでご覧ください。
アルバックの成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました。単層膜から多層膜まで、幅広い成膜プロセスに対応が可能です。
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水晶式成膜コントローラ
※ULVAC SHOWCASEへ移動蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。用途に合わせた豊富なオプションもご用意しています。
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シングルセンサ
※ULVAC SHOWCASEへ移動コンパクトなセンサヘッドで、装置内での配置がし易く、ベーキングの有無、使用温度などの条件により選ぶことができます。高寿命タイプオシレータの選択も可能です。
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マルチセンサ
※ULVAC SHOWCASEへ移動信頼性の高いモータ式駆動方式を採用し、脱着可能なホルダ式で、簡単に水晶板の交換ができるマルチセンサせです。
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水晶板
※ULVAC SHOWCASEへ移動成膜プロセスを成功に導くULVACの新たな水晶板は、従来の水晶板よりも成膜中の温度特性に優れ、輻射熱によるレート変動も小さく、再現性がパワーアップ。長寿命で安定……
