バッチ式高真空蒸着装置
Model：ei-5、EVD-600LP
アルバックのバッチ式蒸着装置は、基板上への金属・酸化物成膜を高精度に行うために設計された蒸着装置です。
研究開発から少量生産まで幅広く対応できる汎用モデル"Model：ei-5" と、リフトオフプロセスに適した量産向けモデル"Model：EVD-600LP" をラインアップしています。
操作パネルによる集中的な制御により、排気操作から成膜操作までを自動化でき、安定した成膜プロセスを実現します。
特長
- 多様な蒸発源を搭載可能（EB、抵抗、EB+抵抗）
- プロセスに応じた基板ホルダ（リフトオフ、プラネタリ、サテライトetc.）
- PCによる優れた操作性・機能（レシピ機能、データロギング、メンテナンスアシスト機能）
- Φ50～Φ200mm、矩形基板、Si、化合物、ガラス、セラミックなど、各種基板に対応
- リフトオフ性能の改善により、より多くの基板を搭載可能
- 多様な蒸発源（EB、抵抗、EB＋抵抗）を搭載可能
- PCによる優れた操作性・機能（レシピ機能、データロギング、メンテナンスアシスト機能）
- Φ50～Φ200mm基板、矩形基板、Si、化合物、ガラス、セラミック各種基板に対応
Model： ei
Model： ei
用途
- パワーデバイス等の化合物関連
- LED、LD、高速デバイス
- 各種実験用
- その他電子部品全般
仕様
| Model | ei-5 | EVD-600LP |
|---|---|---|
| 基板ホルダ | 公転、プラネタリ、サテライト | プラネタリ |
| SS距離 | 680mm | 730mm |
| 入射角 | 4.3° Φ100mm 6.4° Φ150mm |
約4° Φ100mm 約6° Φ150mm |
| 蒸発源 | EBガン、抵抗加熱m | |
| 標準排気系 | 16″ クライオポンプ | |