ULVAC SHOWCASEは、真空装置を構成する真空機器にフォーカスをあてアルバックグループが生産・販売する製品を集結した総合サイトです。
真空機器・コンポーネント製品の詳細はULVAC SHOWCASEサイトでご覧ください。
アルバックの残留ガス分析（プロセスガスモニタ）は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各種真空装置用（真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉）や研究開発用など用途別にラインアップしています。
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スパッタリングプロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動スパッタリンクプロセス装置のプロセス管理（品質管理、歩留まり向上）に最適です。
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ベーシックプロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動蒸着装置・各種真空炉の装置管理（品質管理、歩留まり向上）に最適です。
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ハイパフォーマンスプロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動ハイエンド機として各種研究開発用途に最適です。
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ハイプレッシャープロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR & D まで幅広く活用いただけます。
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大気圧環境プロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動大気圧における各種環境測定がリアルタイムで可能です。
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CVD / ALD / Etchingプロセス
※ULVAC SHOWCASEへ移動多様な真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR＆Dまで幅広く活用が可能です。
