
真空ポンプ(低・中真空)

ULVAC SHOWCASEは、真空装置を構成する真空機器にフォーカスをあてアルバックグループが生産・販売する製品を集結した総合サイトです。
真空機器・コンポーネント製品の詳細はULVAC SHOWCASEサイトでご覧ください。
油回転ポンプの他にドライポンプもルーツ型やダイアフラム型、ピストン型など、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。
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スクリュー型ドライ真空ポンプ
大気圧から到達圧力まで各圧力域において、連続運転が可能なスクリュー型のドライ真空ポンプです。
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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプとは、多段のメカニカル・ブースターポンプを一体化したドライ真空ポンプです。三つ葉のロータを用いたルーツ型ドライ真空ポンプでは、一軸に多段……
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スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータおよびロータの運動の組み合わせによって、排気するドライ真空ポンプです。真空乾燥装置、理化学分析機器、真空吸着搬送……
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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプは、油や液体を使用しない機械式真空ポンプで、特に油蒸気などによる汚染がないクリーンな雰囲気を要求される用途に最適なポンプです。
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揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
大排気量でコンパクトサイズの揺動ピストンタイプのポンプです。シンプル構造で、メンテナンスが容易です。
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回転翼型ドライ真空ポンプ
設備に合わせて吸排気口位置を選択可能いただけます。 大排気量でコンパクトサイズの回転翼タイプのポンプです。
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油回転真空ポンプ
大排気量でコンパクトサイズのスクロールタイプのポンプです。ドライ型真空ポンプの中では最高レベルの到達圧力を実現します
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メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大……
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排気ユニット
アルバックの主ポンプ(ターボ分子ポンプ・メカニカルブースタポンプ・拡散ポンプ等)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真……
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真空ポンプ油
交換時や予備品のご購入時にご活用ください。純正油「ULVOIL」はトータルコストの低減を実現します。