熱電特性評価装置 ZEM-5シリーズ
各種熱電材料の特性や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ。
高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特長に特化した仕様で、さまざまなニーズにお応えできる熱電特性評価装置です。
用途
- 半導体系、セラミックス系、金属系などの幅広い材料の熱電特性評価
特長
- 各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ
- 温度検出センサに、C熱電対を採用し、Si系熱電材料（SiGe、MgSiなど）の評価に最適（HT型）
- オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備
- 最高1200℃までの測定が可能（HT型）
- 最大10MΩの高抵抗に対応（HR型）
- 基板に成膜された材料の測定が可能（TF型）
- ‐150℃～200℃の温度制御が可能（LT型）
特許や規格
熱電能JIS R 1650-1
抵抗率JIS R 1650-2
仕様
| 型式 | ZEM-5HT | ZEM-5HR | ZEM-5LT | ZEM-5TF |
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| 測定物性 | ゼーベック係数、電気抵抗率 | |||
| 温度範囲 | 100℃～1200℃ | 100℃～800℃ | -150℃～200℃ | 50℃～500℃ |
| 試料寸法 | 角2～4mmまたはφ2～4mm×長3～15mm | 成膜基板：幅2～4mm×厚0.4～1.2mm×長20mm 薄膜厚：nmオーダ以上 ※サンプル膜と基板の間に絶縁層を要す。 |
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| 測定雰囲気 | 低圧Heガス中 | |||
| アプリケーション | 冷却水循環装置 特殊使用のカスタムも検討 |
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