ターボ分子ポンプ排気ユニット　YTPシリーズ Ver.B

ターボ分子ポンプ排気装置ターボ分子ポンプ

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。

用途

■大気圧から高真空の排気系
■各種実験・研究用装置の排気系
■高純度ガスの真空置換
■超高真空装置の粗引き排気系
■分析装置の排気系

特長

■用途に合わせて各種シリーズを用意
補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、ドライスクロールポンプを採用したドライ仕様があります。
■優れた停電対策
フォアバルブに電磁弁を標準装備し、停電時の逆流・故障を防止します。
■粗引き状況を確認可能
ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能です。
■UHV領域までの排気が可能
オプションのベーキングヒータを取り付けて脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気が可能です。
（※製品仕様値として）