ターボ分子ポンプ排気ユニット
YTPシリーズ
ターボ分子ポンプ排気装置真空ポンプターボ分子ポンプ排気ユニット
YTPシリーズは、ULVACターボ分子ポンプ(UTMシリーズ)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真空排気ユニットです。大気圧から高真空まで本製品1台で排気できます。
用途
- 各種分析装置の真空排気装置として
- 加速器、ビームラインの粗引きポンプとして
- 実験装置用の高真空排気装置として
特長
- 自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型(YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能。
- 停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント。 復電しても、排気ユニットは動作しません。
- ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー。
- ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、面倒なオイル交換やベアリング交換が不要。
仕様
| 型式 | YTP- 50M/SA (-DRY) |
YTP- 150M/SA (-DRY) |
YTP- 300M/SA (-DRY) |
YTP- 500M/SA *1 | |
| TMP吸気口フランジ | ICF | 114 | 152 | 203 | |
| VG *1 | 65 | 100 | 150 | ||
| TMP到達圧力 *2 *3 | 10-7 Pa台 | 10-8 Pa台 | |||
| TTMP排気速度 *3 *4 | N2 | 50L/s | 190L/s | 300L/s | 550L/s |
| TMP軸受方式 | 上部：永久磁気軸受 / 下部：ピボット軸受 | ||||
| RP到達圧力 | 6.7 x 10-1 Pa | ||||
| 補助ポンプ排気速度 | 50Hz | 50L/min | 135L/min | 200L/min | |
| 60Hz | 60L/min | 162L/min | 240L/min | ||
| TMP背圧・粗引圧モニター | ピラニ真空計 (2.7 x 103～2.7 x 10-1 Pa) | ||||
| 入力電圧 | 単相AC100V(50/60Hz) | ||||
| ( )はスクロールドライ真空ポンプ仕様 | |
|
*1 |
TMP単体のベークアウト後の値 |
| *2 | JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値 |
| *3 | 排気速度は保護金網を装着していない場合の値 |
データダウンロード
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