小型真空蒸着装置 VWR-400M/ERH
水冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納。
このＤＥＰＯＸシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。
ＤＥＰＯＸシリーズの詳しい操作手順を Ｙｏｕ Ｔｕｂｅ にて公開しています。お役立てください。
特長
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着（最大４層）が可能です。
- RoHS対応
仕様
| 型 式 | VWR-400M/ERH | |
|---|---|---|
| 真 空 性 能 |
到達圧力
|
4.0×10-４Pa 3.0×10-４Pa（液体窒素使用時） |
|
排気時間
|
4.0×10-３Pa/10min 3.0×10-３Pa/10min（液体窒素使用時） |
|
| 真 空 槽 |
真空槽
|
ガラスベルジャー（内径φ300mm×高さ300mm) |
|
フィードスルカラー
|
12ポート(側面8/底面4) | |
|
基板推奨サイズ・最大サイズ※１
|
□50mm ・ □140mm（Max） | |
| 電 源 系 |
蒸発電極構成
|
1点式 |
|
蒸発電源・数量
|
SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
|
| 排 気 系 |
メインポンプ
|
油拡散ポンプ（水冷）（400L/sec) |
|
液体窒素トラップ
|
有り | |
|
補助ポンプ
|
油回転真空ポンプ（200L/min） | |
|
オイルミストトラップ
|
インライントラップ OMI-200 | |
| 操 作 系 |
メインバルブ
|
バタフライバルブ |
|
補助バルブ
|
三方向バルブ | |
|
自動リークバルブ
|
オプション | |
|
操作
|
手動 | |
| 制 御 系 |
ピラニ真空計
|
GP-1G |
|
電離真空計
|
GI-M2 | |
| 設 置 |
本体最大寸法
|
730mm（W）×709mm（D）×1161mm（H） |
|
電源最大寸法
|
480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
|
本体質量
|
148kｇ | |
|
電源質量
|
40kg | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型 式 | VWR-400M/ERH | |
|---|---|---|
|
所要電気量
|
本体
|
100V 単相 50/60Hz 1.6kVA |
|
電源
|
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
|
アース端子
|
Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
|
取り合い
|
本体 1φ100V
|
ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
|
電源 1φ200V
|
ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | |
|
所要水量
|
2.0 L/min （水温20～25℃、水圧 200kPa（ゲージ圧）） |
|
|
取り合い （ソケット）
|
Rp1/4 （カンタッチ継手付） | |
|
推奨ホース ※
|
テトロンブレードホース （内径9mm－外径15mm） | |
※冷却水配管は、お客様にて準備願います。
真空槽内部構成
基本構成
※研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。
