小型真空蒸着装置　VTR-060M/ERH

成膜関連装置真空蒸着装置蒸着・バッチ式

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

• 卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
• ターボ分子ポンプを搭載しています。
• スイッチ操作だけで高真空排気が可能です。
• 高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能です。
• 低融点金属の蒸着に最適です。