上型／小型真空蒸着装置 VPC-061A
空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用（半自動式）。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 停電時に自動リーク弁によりメインポンプが保護されます。
- RoHS対応
仕様
| 型 式 | VPC-061A | |
|---|---|---|
| 真 空 性 能 |
到達圧力
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1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液体窒素使用時） |
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排気時間
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4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液体窒素使用時） |
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| 真 空 槽 |
真空槽
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ガラスベルジャー（内径φ150mm×高さ200mm) |
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フィードスルカラー
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3ポート(底面3) | |
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基板推奨サイズ・最大サイズ※１
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□25mm ・ □50mm（Max） | |
| 電 源 系 |
蒸発電極構成
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1点式 |
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蒸発電源・数量
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SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排 気 系 |
メインポンプ
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油拡散ポンプ（空冷） 50L/sec |
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液体窒素トラップ
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有り | |
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補助ポンプ
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油回転真空ポンプ 20L/min | |
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オイルミストトラップ
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オプション | |
| 操 作 系 |
メインバルブ
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バタフライバルブ |
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補助バルブ
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三方向バルブ | |
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自動リークバルブ
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有り | |
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操作
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手動 | |
| 制 御 系 |
ピラニ真空計
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オプション |
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電離真空計
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オプション | |
| 設 置 |
本体最大寸法
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434mm(W)×320mm(D)×673mm(H) |
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電源最大寸法
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480mm(W)×435.3mm(W)×149mm(W) | |
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本体質量
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32kg | |
| 電源質量 | 40kg | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型 式 | VPC-061A | |
|---|---|---|
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所要電気量
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本体
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100V 単相 50/60Hz 0.63kVA |
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電源
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200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
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取り合い
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本体 1φ100V
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ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 2m |
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電源 1φ200V
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ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | |
真空槽内部構成
基本構成
