小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH
空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
ＤＥＰＯＸシリーズの詳しい操作手順を Ｙｏｕ Ｔｕｂｅ にて公開しています。お役立てください。
特長
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
- RoHS対応
仕様
| 型 式 | VFR-200M/ERH | |
|---|---|---|
| 真 空 性 能 |
到達圧力
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8.0×10-４Pa 6.0×10-４Pa（液体窒素使用時） |
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排気時間
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4.0×10-３Pa/15min 3.0×10-３Pa/15min（液体窒素使用時） |
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| 真 空 槽 |
真空槽
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ガラスベルジャー（内径φ300mm×高さ300mm) |
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フィードスルカラー
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12ポート(側面8/底面4) | |
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基板推奨サイズ・最大サイズ※１
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□50mm ・ □140mm（Max） | |
| 電 源 系 |
蒸発電極構成
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1点式 |
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蒸発電源・数量
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SEREM PSE-150C 1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排 気 系 |
メインポンプ
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油拡散ポンプ（空冷）（200L/sec) |
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液体窒素トラップ
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有り | |
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補助ポンプ
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油回転真空ポンプ（100L/min） | |
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オイルミストトラップ
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インライントラップ OMI-100 | |
| 操 作 系 |
メインバルブ
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バタフライバルブ |
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補助バルブ
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三方向バルブ | |
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自動リークバルブ
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オプション | |
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操作
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手動 | |
| 制 御 系 |
ピラニ真空計
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GP-1G |
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電離真空計
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GI-M2 | |
| 設 置 |
本体最大寸法
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730mm（W）×603mm（D）×1161mm（H） |
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電源最大寸法
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480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） | |
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本体質量
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145kｇ | |
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電源質量
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40kg | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
| 型 式 | VFR-200M/ERH | |
|---|---|---|
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所要電気量
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本体
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100V 単相 50/60Hz 1.4kVA |
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電源
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200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
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取り合い
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本体 1φ100V
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ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
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電源 1φ200V
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ビニルキャプタイヤケーブル（R2.0-5 圧着端子付） 2m | |
真空槽内部構成
基本構成
※研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。
